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用熱處理來增強氧化鋅中的氮摻雜

發(fā)布時間:2017-12-22 16:19 作者:氧化鋅

  氧化鋅廠經(jīng)過熱處理來增強氧化鋅中的氮摻雜的研究工作現(xiàn)已打開。運用光致電子順磁共振技能(EPR),并在空氣或許氮氣氛下在600-900溫度范圍內(nèi)退火,在運用該方法制備的氮摻雜氧化鋅晶體中,調(diào)查到了氮受主的構(gòu)成。這一成果的原因是N在熱退火過程中替代為淺的施主雜質(zhì)。
      固源化學氣相淀積法(SS-CVD)也可以用來氧化鋅的N摻雜。二水醋酸鋅(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(CH3COONH4, solid)別離作為固體源和N源。試驗成果的樣品顯示出P型導電性,空穴濃度為9.8×1017 cm?3,電阻率20Ωcm,空穴遷移率0.97cm2 /V s。
      雖然上面報道說現(xiàn)已成功的獲得了N摻雜的氧化鋅薄膜,但也有相當多的報道,作者沒有可以重復這些成果,即便選用相同的成長方式,相同的成長條件和相同的N源。因而,即便以為該陳述的成果表明是真實的p型氧化鋅,重現(xiàn)這些成果仍是一個大問題,而且這個問題必須得在氧化鋅應(yīng)用于光電子學,如同質(zhì)結(jié)LED和激光二極管(LDs)之前處理。最后,這個問題至少比及高效率注入的ZnO的p - n結(jié)才干處理。

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